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韓國帕克原子力顯微鏡NX-PTR介紹
點(diǎn)擊次數:538 更新時(shí)間:2023-04-20

韓國帕克原子力顯微鏡NX-PTR概述

Park Systems的PTR系列是全自動(dòng)工業(yè)級線(xiàn)上原子力顯微鏡解決方案,適用于(不限于)長(cháng)形條、磁頭萬(wàn)向節組件(HGA)級滑塊以及單獨滑塊的極尖沉降自動(dòng)測量。憑借著(zhù)亞納米級精確度、高重復精度以及高通量,PTR系列是滑塊廠(chǎng)商提高整體產(chǎn)量的理想測量工具。

自動(dòng)化、快速、精確且可重復的極尖沉降測量

硬盤(pán)驅動(dòng)滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測量極尖沉降,同時(shí)保證最高標準的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域。在超精確的極尖沉降測量之外,自動(dòng)化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤(pán)驅動(dòng)器滑塊廠(chǎng)商的選擇,兼顧樶佳的質(zhì)量和最高的產(chǎn)量。

高通量,無(wú)需多次參考掃描

大多數原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準確測量極尖沉降,首先是大區域參考掃描,隨后小區域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時(shí)間,且限制了通量的提高。我們的掃描系統帶來(lái)真正的平面掃描,有效地降低掃描次數。此外,True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利,在延長(cháng)使用壽命的同時(shí),提供更持久的高分辨率成像效果。相應地,Park NX-PTR能夠生成感興趣區域的詳細準確圖像,而無(wú)需進(jìn)行參考掃描,以便修正掃描器偽影。

 * 應用

自動(dòng)硬盤(pán)滑塊測量

隨著(zhù)硬盤(pán)滑塊的尺寸越來(lái)越小,復雜性越來(lái)越高,提高產(chǎn)量的關(guān)鍵在于實(shí)現納米級的精確度。

Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動(dòng)的硬盤(pán)滑塊測量。

自動(dòng)極尖沉降測量與分析

借助NX-PTR系統,極尖沉降測量可實(shí)現全自動(dòng),帶來(lái)更高的通量,無(wú)論是對于載體、長(cháng)形條,還是滑塊。

Park Systems的工業(yè)級院里子顯微鏡精確且穩定的全自動(dòng)化極尖沉降(PTR)測量成為可能。

極尖沉降量的監測要求測量精度達到0.1 mm,這意味著(zhù)離測量表面只有20 μm遠。

自動(dòng)墻角測量與分析

實(shí)現各類(lèi)墻角的自動(dòng)測量與分析。

自動(dòng)缺陷測量與分析

實(shí)現各類(lèi)缺陷的全自動(dòng)測量與分析,如表面尖角。

韓國帕克原子力顯微鏡NX-PTR特點(diǎn)

 低噪聲XYZ軸位置傳感器,帶來(lái)更精確的掃描效果

NX-PTR擯棄了常見(jiàn)的非線(xiàn)性Z軸電壓信號,而是采用超低噪聲Z軸探測器,從而帶來(lái)無(wú)與LUN比的形貌高度精度。憑借著(zhù)行業(yè)領(lǐng)xian的低噪聲Z軸探測器,正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以?xún)?,甚至可以忽略不計,而這時(shí)Z軸形貌信號所無(wú)法企及的。

★ 熱漂移和滯后極小,大大降低探針漂移

NX-PTR具備極為突出的熱穩定性和機械穩定性,從而大大降低熱漂移,實(shí)現更為精確的測量。一般情況下,橫向熱漂移率低于100 nm/°C,而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。

★ 測量控制自動(dòng)化,釋放您的雙手

NX-PTR配有自動(dòng)化軟件,操作起來(lái)輕而易舉。您只需要選擇想要的測量程序,并設定相應的懸臂調諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數,便可取得多位置分析。此外,Park的用戶(hù)友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng )建自定義作業(yè)程序,以便您wan全發(fā)揮NX-PTR的實(shí)力,滿(mǎn)足所有的測量需求。創(chuàng )建新的作業(yè)程序極為簡(jiǎn)單。創(chuàng )建新測量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間,而修改現有的測量文件則不超過(guò)5分鐘的時(shí)間。

★ Park NX-PTR的自動(dòng)化系統具備

·自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式,讓您掌控全局

·各自動(dòng)程序的可編輯測量方法

·測量過(guò)程實(shí)時(shí)監測

·自動(dòng)分析所獲取的測量數據


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