高頻阻抗分析儀的技術要求與低頻阻抗測量儀在設計技術，使用電路及機被結構等方面明顯不同（包括測試電纜，自動平衡電橋和其他電路設計）。殘余阻抗，相位漂移，傳輸損耗和“集總常數測量電路”結構容易產生有害的影響，在高頻矢量測量中是無法確定的因素。而且這些影響隨測試頻率升高而增加，產生明顯的測量誤差，至使測量范圍變窄。這樣，在高頻范圍矢量測量中方便的方法是用“分布常量測量電路”。其優點是可以實現在寬的頻率范圍內電路性能不變，測量電路檢測的矢量信號能用簡單的數學式準確表示。

　　高頻阻抗分析儀的基本測量操作是：

　?。?）按下電源開關鍵后，儀器A顯示部分指示HP一IB地址，B顯示部分指示選配件通告符號（如hr），此時儀器在進行溫度控制電路的穩定，內部定時器延時工作10min，預熱工作期間，儀器連續顯示以上符號。進行10min預熱后，自動轉到測試狀態。

　?。?）如果要求測試精度，最少預熱40min。之后使用參考終端阻抗在APC-7同軸接頭對儀器進行初始校準，來消除儀器的系統誤差對測量結果的影響。本身的校準件分別為：OQ的短路器，OS的開路器，50Ω的負載終端。首先注意上校準件前一定要保證儀器的測量端APC-7精密測頭的清潔和干燥，然后按照自動校準的程序依次接入相應的終端，在使用頻率范圍內進行校準。測量準確性實際上取決于使用校準終端的準確性，即由校準的準確性控制。所以一定不能忽視測量前的儀器校準這一過程。

　?。?）根據被測件的形狀和測試頻率選擇合適的測試夾具，裝上夾具后，設置測試條件，必須同時輸入與測試夾具相應的電長度值（這是為了修正夾具對反射系數及相位的影響）。在實際測試中，夾具固有的殘余參量引起的測量誤差應予以考慮，確保測量的準確性，夾具參量必須進行修正，他的影響在高頻段明顯。